δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法
魏鸿源; 刘祥林; 张攀峰; 焦春美; 王占国
2008-10-08
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2007-04-05
语种中文
申请号CN200710065182.0
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4211
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
魏鸿源,刘祥林,张攀峰,等. δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法[P]. 2008-10-08.
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