Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
绝缘体上硅背腐蚀全反射的垂直耦合结构及制作方法 | |
贾亮; 刘育梁 | |
2008-06-04 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2006-12-01 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200610144302 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4037 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾亮,刘育梁. 绝缘体上硅背腐蚀全反射的垂直耦合结构及制作方法[P]. 2008-06-04. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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