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氮化镓基异质结场效应晶体管结构及制作方法 | |
马志勇; 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 王翠梅; 罗卫军 | |
2008-03-12 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2006-09-06 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200610112889 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3977 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 马志勇,王晓亮,冉军学,等. 氮化镓基异质结场效应晶体管结构及制作方法[P]. 2008-03-12. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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