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制备网状纳米阵列铁磁性薄膜的物理气相沉积方法 | |
戴瑞烜; 陈诺夫; 彭长涛; 王鹏 | |
2007-12-19 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2006-06-14 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200610012247 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3873 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 戴瑞烜,陈诺夫,彭长涛,等. 制备网状纳米阵列铁磁性薄膜的物理气相沉积方法[P]. 2007-12-19. |
条目包含的文件 | ||||||
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