Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
平板式电极结构 | |
刁宏伟; 廖显伯; 曾湘波; 郝会颖; 徐艳月; 张世斌; 胡志华 | |
2006-02-15 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 实用新型 |
申请日期 | 2004-12-23 |
语种 | 中文 |
申请号 | CN200420009993.0 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3321 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刁宏伟,廖显伯,曾湘波,等. 平板式电极结构[P]. 2006-02-15. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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