一种氮化铝交叠式单片集成微通道热沉
马杰慧; 方高瞻; 马骁宇; 蓝永生
2005-12-14
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-06-11
语种中文
申请号CN200410047949.3
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3145
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
马杰慧,方高瞻,马骁宇,等. 一种氮化铝交叠式单片集成微通道热沉[P]. 2005-12-14.
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