SEMI OpenIR  > 光电子研究发展中心
氧化镓薄膜材料的MOCVD外延
张亚宝
学位类型硕士
2022-06
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
公开日期2022-06
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31106
专题光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
张亚宝. 氧化镓薄膜材料的MOCVD外延[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2022.
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GK2022106-硕士-光电子研发-张(4272KB)学位论文 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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