| 基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究 | |
| 邓凌霄 | |
| Subtype | 硕士 |
| Thesis Advisor | 王晓东 |
| 2017-05-27 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 微电子学与固体电子学 |
| Keyword | 硅纳米线 热电优值 塞贝克系数 热导率 |
| Date Available | 2017-06-01 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28172 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 邓凌霄. 基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2017. |
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| 基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究.（2899KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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