| 图形化硅衬底氮化物外延及半极性发光器件 | |
| 张璐 | |
| Subtype | 硕士 |
| Thesis Advisor | 袁国栋 |
| 2017-05-25 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 微电子学与固体电子学 |
| Keyword | Si Gan 湿法腐蚀 Mocvd 半极性面 多量子阱 正装结构led |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Date Available | 2017-06-01 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28159 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张璐. 图形化硅衬底氮化物外延及半极性发光器件[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2017. |
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