GaN基HEMT器件材料的生长技术研究
吉泽生
学位类型硕士
导师汪连山
2017-05-26
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业材料工程
公开日期2017-05-31
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28151
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
吉泽生. GaN基HEMT器件材料的生长技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2017.
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