| 一种MOCVD设备中的石墨盘 | |
| 胡强; 李晋闽; 王军喜; 曾一平; 路红喜; 伊晓燕; 马平; 魏同波; 闫建昌; 纪攀峰 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2016-10-25 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Application Date | 2014-11-06 |
| Application Number | CN201410641935.8 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27654 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 胡强,李晋闽,王军喜,等. 一种MOCVD设备中的石墨盘. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种MOCVD设备中的石墨盘.pdf（761KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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