一种氢致解偶合的异质外延用柔性衬底
张志成; 杨少延; 黎大兵; 刘祥林; 陈涌海; 朱勤生; 王占国
2005-03-09
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2003-08-28
语种中文
申请号CN03155388.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2743
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张志成,杨少延,黎大兵,等. 一种氢致解偶合的异质外延用柔性衬底[P]. 2005-03-09.
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