SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
脉冲激光退火制备Ni/SiC欧姆接触
刘敏
学位类型硕士
导师杨富华
2016-05-22
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业电子与通信工程
关键词脉冲激光退火 Sic欧姆接触 数值模拟 接触特性
学科领域半导体物理 ; 半导体材料
公开日期2016-05-26
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27055
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
刘敏. 脉冲激光退火制备Ni/SiC欧姆接触[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016.
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