| 采用标准CMOS工艺制备脊型光波导的方法 | |
| 黄北举; 张赞; 张赞允; 程传同; 毛旭瑞; 陈弘达 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2013-07-30 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 光电子学 |
| 申请日期 | 2013-05-08 |
| 申请号 | CN201410191727.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25928 |
| 专题 | 光电子研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄北举,张赞,张赞允,等. 采用标准CMOS工艺制备脊型光波导的方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 采用标准CMOS工艺制备脊型光波导的方法（396KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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