| ALD设备及应用于ALD设备的反应源扩散分布检测与控制方法 | |
| 赵万顺; 张峰; 王雷; 曾一平 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2014-06-25 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Application Date | 2014-04-17 |
| Application Number | CN201410154760.8 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25716 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 赵万顺,张峰,王雷,等. ALD设备及应用于ALD设备的反应源扩散分布检测与控制方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| ALD设备及应用于ALD设备的反应源扩散（991KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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