| 利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法 | |
| 杜成孝; 董鹏; 郑海洋; 魏同波; 严清峰; 吴奎; 张逸韵; 王军喜; 李晋闽 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2013-05-08 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Application Date | 2013-01-10 |
| Application Number | CN201310009072.8 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25664 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 杜成孝,董鹏,郑海洋,等. 利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模（946KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment