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基于对称垂直光栅耦合的SOI基电光调制器
陈弘达; 张赞允; 黄北举; 张赞
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-07-04
授权国家中国
专利类型发明
学科领域光电子学
申请日期2012-01-13
申请号CN201210010933.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25357
专题光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈弘达,张赞允,黄北举,等. 基于对称垂直光栅耦合的SOI基电光调制器.
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基于对称垂直光栅耦合的SOI基电光调制器(962KB) 限制开放使用许可请求全文
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