| 利用热应力化学腐蚀分离蓝宝石和氮化镓基外延层的方法 | |
| 汪炼成; 马骏; 刘志强; 伊晓燕; 王国宏 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-10-03 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Application Date | 2012-06-19 |
| Application Number | CN201210208501.X |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25332 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 汪炼成,马骏,刘志强,等. 利用热应力化学腐蚀分离蓝宝石和氮化镓基外延层的方法. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 利用热应力化学腐蚀分离蓝宝石和氮化镓基外（622KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment