| 在硅片上制作八边形微孔的方法 | |
| 黄永光; 王熙元; 刘德伟; 朱小宁; 王宝军; 朱洪亮 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-10-24 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Application Date | 2012-07-09 |
| Application Number | CN201210236356.6 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25286 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 黄永光,王熙元,刘德伟,等. 在硅片上制作八边形微孔的方法. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 在硅片上制作八边形微孔的方法.pdf（1592KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment