一种等离子体耦合模式激光器
郑婉华; 付非亚; 王宇飞; 晏新宇; 周文君; 陈微
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-09-12
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2012-05-02
申请号CN201210135204.7
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25269
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
郑婉华,付非亚,王宇飞,等. 一种等离子体耦合模式激光器.
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