SEMI OpenIR  > 中科院半导体照明研发中心
制备半球形微纳米透镜阵列的方法
魏同波; 吴奎; 王军喜; 曾一平; 李晋闽
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-04-03 ; 2013-04-03
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2012-12-17
申请号CN201210548704.3
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25175
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
魏同波,吴奎,王军喜,等. 制备半球形微纳米透镜阵列的方法.
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制备半球形微纳米透镜阵列的方法.pdf(375KB) 限制开放使用许可请求全文
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