基于CCD视觉的激光头高度调节装置及调节方法 | |
赵伟芳; 林学春; 于海娟; 李晋闽 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2013-03-13 ; 2013-03-13 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
学科领域 | 半导体器件 |
申请日期 | 2012-11-12 |
申请号 | CN201210449521.6 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25160 |
专题 | 全固态光源实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵伟芳,林学春,于海娟,等. 基于CCD视觉的激光头高度调节装置及调节方法. |
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基于CCD视觉的激光头高度调节装置及调节(340KB) | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 |
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