| 电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制 | |
| 康中波 | |
| Subtype | 硕士 |
| Thesis Advisor | 宁瑾 |
| 2012 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 微电子学与固体电子学 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Date Available | 2012-07-09 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23246 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 康中波. 电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2012. |
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