SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
多面栅FinFET的制备与电学特性研究
张严波
学位类型博士
导师杨富华 ; 韩伟华
2012
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域微电子学
公开日期2012-06-18
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23169
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
张严波. 多面栅FinFET的制备与电学特性研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2012.
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张严波 多面栅FinFET的制备与电学特(5934KB) 限制开放使用许可请求全文
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