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GaN 基 HEMT材料的新结构研究
毕杨
学位类型博士
导师王晓亮 研究员
2012
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词氮化镓 铟铝氮 二维电子气 高电子迁移率晶体管 短沟道效应
学科领域半导体物理 ; 半导体材料 ; 半导体器件
公开日期2012-05-30
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22937
专题半导体材料科学中心
推荐引用方式
GB/T 7714
毕杨. GaN 基 HEMT材料的新结构研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2012.
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GaN基HEMT材料的新结构研究.pdf(3974KB) 限制开放使用许可请求全文
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