| 激光程控气体浓度检测系统及检测方法 |
| 孙可; 谢亮; 鞠昱; 韩威; 王欣; 祝宁华
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专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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公开日期 | 2011-08-30
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授权国家 | 中国
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专利类型 | 发明
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摘要 | 一种激光程控气体浓度检测系统,包括:一程序控制处理器;一程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯;一柱形气室的一端的中心安装有法兰装置;一长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中,另一端与程控电流源连接;一光电探测器安装在柱形气室的另一端;一微电流检测计采集光电探测计上的电流信号,该微电流检测计与程序控制处理器通讯;一信号发生器将调制信号加载在程控电流源上,该信号发生器与程序控制处理器通讯;一锁相放大器采集光电探测计上的信号,该锁相放大器与程序控制器通讯。 |
部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
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专利号 | CN200910237838.1
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语种 | 中文
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专利状态 | 公开
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申请号 | CN200910237838.1
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专利代理人 | 汤保平
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文献类型 | 专利
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条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22011
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专题 | 集成光电子学国家重点实验室
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
孙可,谢亮,鞠昱,等. 激光程控气体浓度检测系统及检测方法. CN200910237838.1.
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