| 补偿式微位移传感光子集成芯片 |
| 祝宁华; 刘建国; 刘宇; 谢亮; 陈伟; 鞠昱; 孙可
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| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
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| 公开日期 | 2011-08-30
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 摘要 | 本发明公开了一种补偿式微位移传感光子集成芯片，该芯片由一个面发射激光器和至少二个谐振腔增强型光电探测器构成，其中，所述面发射激光器发出的激光照射到目标探测物表面，经目标探测物散射或反射后，被所述至少二个谐振腔增强型光电探测器接收，通过测量所述至少二个谐振腔增强型光电探测器探测到的光强变化来实现微位移传感。利用本发明，解决了垂直腔面发射激光器和两个谐振腔增强型光电探测器的单片集成问题，实现了补偿式反射测微。 |
| 部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
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| 专利号 | CN200910241695.1
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN200910241695.1
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| 专利代理人 | 周国城
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21995
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| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
祝宁华,刘建国,刘宇,等. 补偿式微位移传感光子集成芯片. CN200910241695.1.
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