制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法
张兴旺; 高 云; 屈 盛; 陈诺夫
2010-08-12
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2009-12-23 ; 2010-08-12
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明一种制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:利用双亲嵌段共聚物PS-P4VP在甲苯中自组装成反胶束,然后将金属盐FeCl3和H2PtCl6加入所述反胶束溶液中,形成金属盐负载的反胶束;步骤2:利用旋涂法在硅衬底上获得反胶束阵列,并通过氧等离子体和氢等离子体刻蚀而得到单分散性良好的FePt纳米颗粒阵列;步骤3:用磁控溅射法在FePt纳米颗粒阵列上覆盖一层SiO2保护层;步骤4:保护气氛下对样品进行高温退火,完成平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的制作。
申请日期2008-06-18
语种中文
专利状态实质审查的生效
申请号CN200810115182.1
专利代理人汤保平:中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/13452
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张兴旺,高 云,屈 盛,等. 制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法[P]. 2010-08-12.
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