| 基于电子束曝光技术的硅纳米线器件的研究 | |
| 王颖 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 导师 | 杨富华 ; 韩伟华 |
| 2010 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科领域 | 微电子学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-06-08 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11322 |
| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王颖. 基于电子束曝光技术的硅纳米线器件的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2010. |
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| 王颖博士学位论文.pdf（6054KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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