Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
学科主题 | 半导体材料 |
硅材料原生缺陷图谱、硅材料诱生缺陷图谱 | |
张一心 | |
获奖类别 | 国家科技进步奖 |
获奖等级 | 三等奖 |
1992 | |
关键词 | 硅材料 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 成果 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11020 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张一心. 硅材料原生缺陷图谱、硅材料诱生缺陷图谱. 1992. |
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