Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 八种气体中28种杂质全分析技术及质量监控 | |
| 闻瑞梅; 李希云; 王铁龄; 王桂英 | |
| 获奖类别 | 院科技进步奖 |
| 获奖等级 | 一等奖 |
| 1990 | |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 成果 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/10994 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻瑞梅,李希云,王铁龄,等. 八种气体中28种杂质全分析技术及质量监控. 1990. |
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