中文版 | English

在结果中检索

SEMI OpenIR

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Influence of heated catalyzer on thermal distribution of substrate in HWCVD system 会议论文
THIN SOLID FILMS, 430 (1-2), DENVER, COLORADO, SEP 10-13, 2002
作者:  Zhang Q;  Zhu M;  Wang L;  Liu E;  Zhu M Chinese Acad Sci Dept Phys Grad Sch POB 3908 Beijing 100039 Peoples R China.
Adobe PDF(223Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1225/238  |  提交时间：2010/11/15
Amorphous-silicon  Deposition  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang Q;  Zhu M;  Wang L;  Liu E;  Zhu M,Chinese Acad Sci,Dept Phys,Grad Sch,POB 3908,Beijing 100039,Peoples R China.
Adobe PDF(223Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：851/276  |  提交时间：2010/08/12
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 会议论文
THIN SOLID FILMS, 395 (1-2), KANAZAWA, JAPAN, NOV 14-17, 2000
作者:  Feng Y;  Zhu M;  Liu F;  Liu J;  Han H;  Han Y;  Zhu M Chinese Acad Sci Grad Sch Dept Phys POB 3908 Beijing 100039 Peoples R China.
Adobe PDF(101Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1250/315  |  提交时间：2010/11/15
Poly-si  Structure  Hot-wire  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)  Chemical-vapor-deposition  Microcrystalline Silicon  Hydrogen  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Feng Y;  Zhu M;  Liu F;  Liu J;  Han H;  Han Y;  Zhu M,Chinese Acad Sci,Grad Sch,Dept Phys,POB 3908,Beijing 100039,Peoples R China.
Adobe PDF(101Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：928/288  |  提交时间：2010/08/12