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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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期刊论文
作者:
Hao, Hui-Ying
;
Li, Wei-Min
;
Zeng, Xiang-Bo
;
Kong, Guang-Lin
;
Liao, Xian-Bo
;
Hao, H.-Y.
Adobe PDF(190Kb)
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提交时间:2012/06/14
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Liu, Shi-Yong
;
Zeng, Xiang-Bo
;
Peng, Wen-Bo
;
Yao, Wen-Jie
;
Xie, Xiao-Bing
;
Yang, Ping
;
Wang, Chao
;
Wang, Zhan-Guo
;
Zeng, X.-B.(xbzeng@semi.ac.cn)
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提交时间:2012/06/14
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Cai PF
;
You JB
;
Zhang XW
;
Dong JJ
;
Yang XL
;
Yin ZG
;
Chen NF
;
Zhang XW Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: xwzhang@semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
You JB
;
Zhang XW
;
Cai PF
;
Dong JJ
;
Gao Y
;
Yin ZG
;
Chen NF
;
Wang RZ
;
Yan H
;
Zhang XW Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: xwzhang@semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Zhou, BQ
;
Zhu, MF
;
Liu, FZ
;
Liu, JL
;
Zhou, YQ
;
Li, GH
;
Ding, K
;
Zhou, BQ, Inner Mongolia Normal Univ, Coll Phys & Elect Informat, Hohhot 010022, Peoples R China. 电子邮箱地址: zhoubq@imnu.edu.cn
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提交时间:2010/03/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Xu YY
;
Liao XB
;
Kong GL
;
Zeng XB
;
Hu ZH
;
Diao HW
;
Zhang SB
;
Xu YY,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,State Key Lab Surface Phys,Ctr Condensed Matter Phys,Beijing 100083,Peoples R China.
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浏览/下载:1048/297
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提交时间:2010/08/12
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD
会议论文
THIN SOLID FILMS, 395 (1-2), KANAZAWA, JAPAN, NOV 14-17, 2000
作者:
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
;
Zhu M Chinese Acad Sci Grad Sch Dept Phys POB 3908 Beijing 100039 Peoples R China.
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浏览/下载:1256/315
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提交时间:2010/11/15
Poly-si
Structure
Hot-wire
Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)
Chemical-vapor-deposition
Microcrystalline Silicon
Hydrogen
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
;
Zhu M,Chinese Acad Sci,Grad Sch,Dept Phys,POB 3908,Beijing 100039,Peoples R China.
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浏览/下载:928/288
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Zhu M
;
Guo X
;
Chen G
;
Han H
;
He M
;
Sun K
;
Zhu M,Univ Sci & Technol China,Grad Sch,POB 3908,Beijing 100039,Peoples R China.
Adobe PDF(1027Kb)
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浏览/下载:1046/340
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提交时间:2010/08/12