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硅微机械陀螺仪的稳定性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
Authors:  刘楠
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Mems 陀螺仪  稳定性  介质电荷  温度补偿  
用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2014
Authors:  赵晖
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参考频率源  Mems 谐振器  高阶谐振模态  振荡器  温度补偿