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离子注入及退火对GaAs/Si晶体完整性影响的研究 期刊论文
半导体学报, 1990, 卷号: 11, 期号: 11, 页码: 866
Authors:  肖光明;  殷士端;  张敬平;  范缇文;  刘家瑞;  丁爱菊;  周钧铭;  朱沛然
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