中文版 | English

在结果中检索

SEMI OpenIR

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
Adobe PDF(13476Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：541/14  |  提交时间：2019/11/18
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：961/55  |  提交时间：2015/06/02
氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  杨健;  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  梁秀琴
Adobe PDF(382Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：569/1  |  提交时间：2016/08/30
在衬底上制备多级台阶的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人:  杨健;  司朝伟;  韩国威;  宁瑾;  赵永梅;  梁秀琴;  王晓东;  杨富华
Adobe PDF(305Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：531/1  |  提交时间：2016/08/30