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一种用于金属有机物化学气相沉积设备的进气喷头结构 [专利]冉军学; 胡国新; 梁勇; 王军喜; 段瑞飞; 曾一平; 李晋闽-
一种化学气相沉积装置 [专利]段瑞飞; 曾一平; 王军喜; 冉军学; 胡国新; 羊建坤; 梁勇; 路红喜; 李晋闽-
用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头 [专利]冉军学; 胡强; 梁勇; 胡国新; 王军喜; 曾一平; 李晋闽-
用于金属有机气相沉积设备的进气喷头 [专利]冉军学; 胡强; 梁勇; 胡国新; 王军喜; 曾一平; 李晋闽-
MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置 [专利]冉军学; 胡强; 胡国新; 梁勇; 熊衍凯; 王军喜; 曾一平; 李晋闽-
用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置 [专利]冉军学; 胡强; 胡国新; 梁勇; 熊衍凯; 王军喜; 曾一平; 李晋闽-

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