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射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 [学位论文]赵继聪2017-5-27
基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究 [学位论文]李男男2016-6-16
基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究 [学位论文]吕兴东2016-5-29
便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究 [学位论文]王晶晶2016-5-29
微悬臂梁生化传感器系统集成与检测 [学位论文]廖驹2016-5
AFM扫描探针的研究 [学位论文]何欢2016-5
射频MEMS滤波器的结构和关键技术研究 [学位论文]骆伟2015-12-3
基于MEMS技术的开关研究 [学位论文]魏伟伟2015
射频MEMS振荡器的稳定性研究 [学位论文]彭波华2015
微纳机电谐振式悬臂梁生化传感器的研究 [学位论文]王帅鹏2014-5-30

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