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硅微机械陀螺仪的稳定性研究 [学位论文]刘楠2018-5-25
氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器(CMR)的研究 [学位论文]侯云虹2017-5-27
新型阵列级联耦合结构AlN谐振器的研制 [学位论文]张萌2016-5-22
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 [学位论文]杨健2015-5-28
射频微机电(RF MEMS)滤波器的关键技术研究 [学位论文]韩国威2013
高性能 MEMS 陀螺的研制 [学位论文]钟卫威2013
电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制 [学位论文]康中波2012
电容式微传声器的研制及性能测试 [学位论文]宁瑾2003
用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构 [期刊论文]宁瑾; 刘忠立; 刘焕章; 葛永才2003
电容式微传声器的性能模拟与优化设计 [期刊论文]宁瑾; 刘忠立2003

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