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中国科学院半导... [2]
半导体集成技术... [1]
作者
周 威 [3]
杨晋玲 [3]
周美强 [2]
唐龙娟 [2]
朱银芳 [2]
内容类型
专利 [3]
发表日期
SEMI OpenIR
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适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片
[专利]
杨晋玲
;
周美强
;
周 威
;
唐龙娟
;
朱银芳
;
杨富华
2010-8-12
微机电系统薄膜材料力学性能与可靠性测试方法和装置
[专利]
杨晋玲
;
周 威
;
杨富华
2009-9-2
适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片
[专利]
杨晋玲
;
周美强
;
周 威
;
唐龙娟
;
朱银芳
;
杨富华
-
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