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制作半导体台面侧向电流限制结构的技术 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 1997-05-14, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王圩;  王志杰;  张济志;  朱洪亮
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一种高频感应加热化学反应腔装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 1997-03-19, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  段树坤
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处理含砷及砷化合物的废气的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 1997-01-08, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  闻瑞梅;  刘任重;  邓礼生;  梁骏吾
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