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硅微机械陀螺仪的稳定性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:  刘楠
Adobe PDF(3576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：635/21  |  提交时间：2018/06/15
Mems 陀螺仪  稳定性  介质电荷  温度补偿