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AlN厚膜单晶材料HVPE制备技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  韩东岳
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Aln  Hvpe  应力  流场  
蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  孔苏苏
Adobe PDF(4691Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：992/53  |  提交时间：2015/06/02
氮化铝 Hvpe 应力