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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
硅基集成化光学数值比较器的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  郭春明
Adobe PDF(3734Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：773/51  |  提交时间：2015/06/02
硅基光子学  微环谐振器  光学比较器