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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang JY;  Wang XF;  Wang XD;  Fan ZC;  Li Y;  Ji A;  Yang FH;  Wang, XF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Engn Res Ctr Semicond Integrated Technol, Beijing 100083, Peoples R China. E-mail Address: jyzhang08@semi.ac.cn;  wangxiaofeng@semi.ac.cn;  fhyang@red.semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang Jiayong;  Wang Xiaofeng;  Wang Xiaodong;  Ma Huili;  Cheng Kaifang;  Fan Zhongchao;  Li Yan;  Ji An;  Yang Fuhua
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PECVD和ICP刻蚀技术及应用 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2009
作者:  李艳
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