中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 任民; 韩威; 谢亮; 陈伟; 张艳; 鞠昱; 张红广; 张邦宏; 祝宁华 Adobe PDF(650Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1183/311 \| 提交时间：2010/11/23
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	无权访问的条目期刊论文作者: 余洪敏; 陈陵都; 刘忠立 Adobe PDF(1589Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：1014/288 \| 提交时间：2010/11/23

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