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作者:  Zheng GL;  Yang AL;  Wei HY;  Liu XL;  Song HP;  Guo;  Y;  Jia CH;  Jiao CM;  Yang SY;  Zhu QS;  Wang ZG;  Zheng, GL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. E-mail Address: zhenggl@semi.ac.cn;  xlliu@semi.ac.cn
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作者:  Yang AL;  Wei HY;  Liu XL;  Song HP;  Zheng GL;  Guo Y;  Jiao CM;  Yang SY;  Zhu QS;  Wang ZG;  Liu XL Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: alyang@semi.ac.cn;  xlliu@semi.ac.cn
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作者:  Yang AL;  Song HP;  Liu XL;  Wei HY;  Guo Y;  Zheng GL;  Jiao CM;  Yang SY;  Zhu QS;  Wang ZG;  Yang AL Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: alyang@semi.ac.cn;  xlliu@semi.ac.cn
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作者:  Yang AL;  Song HP;  Liu XL;  Wei HY;  Guo Y;  Zheng GL;  Jiao CM;  Yang SY;  Zhu QS;  Wang ZG;  Yang AL Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: alyang@semi.ac.cn;  xlliu@semi.ac.cn
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