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垂直耦合光学接口硅基片上光互连器件及其集成芯片研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
作者:  张赞允
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硅基光电子  光栅耦合器  硅基电光调制器  锗波导探测器  硅基单片光电子互连链路