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ICP刻蚀技术及其在SOI波导器件制作中的应用 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2004
作者:  樊中朝
Adobe PDF(1841Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1119/71  |  提交时间：2009/04/13