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碳化硅材料的异质外延生长技术和射频MEMS器件研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2008
作者:  赵永梅
Adobe PDF(5820Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1212/43  |  提交时间：2009/04/13